清洁表面。 在清洗晶圆、玻璃等产品表面颗粒的过程中，通常采用等离子体轰击材料表面的颗粒，使颗粒分散疏松，然后进行离心清洗等处理过程，会产生显著的效果。这在半导体封装应用中尤为突出。为了防止引线键合过程后引线的氧化，应使用氩等离子体或氩氢等离子体清洗产品表面，以达到更好的产品处理效果。

表面变粗。 等离子清洗机的表面粗糙化处理也叫表面蚀刻处理。其主要目的是改善材料的表面粗糙度，进而增强材料的粘接、印刷和焊接性能。其他活性气体也能提高处理后产品的表面张力，但氩电离产生的粒子较重。在电场作用下，氩离子的动能高于其他活性气体，因此其粗化效果更差。南充氩气广泛应用于无机表面粗糙化过程中，如玻璃基板和金属基板的表面处理。

氩气泄漏的处理措施。 迅速将泄漏污染区的人员撤离至上风处，并进行隔离，严格限制出入。建议应急响应人员穿戴自给式正压呼吸器和普通工作服。尽可能切断泄漏源。合理通风，加速扩散。泄漏的容器应在使用前进行适当的处理、修理和检查。